甚高频容性放电中的电场成丝与高次谐波产生
等离子体物理
2019-07-24 v1
摘要
利用自洽粒子模拟(PIC)代码，研究了在对称的、无碰撞的甚高频容性耦合等离子体中，放电电压对电场瞬态形成及其性质的影响。在驱动频率60 MHz、氩气气压5 mTorr条件下，于固定放电间隙中将放电电压从10 V变化至150 V。观察到放电电压升高导致电场瞬态中出现成丝现象，并在体等离子体中产生多个高次谐波。相应地，放电电流中也观察到高达7次的高次谐波。高次谐波中的功率随放电电压升高而增加。等离子体密度随放电电压持续增加但呈非线性，而体电子温度下降。同时，电子能量分布函数(EEDF)从低放电电压下的麦克斯韦分布演变为高放电电压下的双麦克斯韦分布。
引用
@article{arxiv.1904.01879,
title = {Electric field filamentation and higher harmonic generation in a very high frequency capacitive discharges},
author = {Sarveshwar Sharma and N. Sirse and A. Sen and J. S. Wu and M. M. Turner},
journal= {arXiv preprint arXiv:1904.01879},
year = {2019}
}