磁化圆柱形电容耦合等离子体放电的放电特性
等离子体物理
2024-12-12 v1
摘要
本工作研究了一对同轴圆柱之间产生的磁化圆柱形电容耦合等离子体放电的放电特性。为了诊断等离子体特性和电子能量分布函数（EEDF），我们设计并构建了自研电子电路和射频补偿朗缪尔探针。二次谐波技术（SHT）被应用于直接测量 EEDF，并评估了射频电子磁化对放电体内等离子体加热的效应。通过为氩放电推导的粒子平衡和能量平衡方程，验证了外部磁场对等离子体特性整体上升的影响。
引用
@article{arxiv.2412.08155,
title = {Discharge properties of a magnetized cylindrical capacitively coupled plasma discharge},
author = {Akanshu Khandelwal and Dhyey Raval and Narayan Sharma and Yashashri Patil and Sarveshwar Sharma and Shantanu Karkari and Nishant Sirsea},
journal= {arXiv preprint arXiv:2412.08155},
year = {2024}
}
备注
21 Pages, 9 Figures