容性耦合等离子体的击穿模式 II：不可持续放电
等离子体物理
2023-12-12 v1
摘要
本工作使用一维隐式粒子网格法/蒙特卡罗碰撞（PIC/MCC）代码，研究在极低气压下由高频射频功率驱动的纯氩容性耦合等离子体（CCP）的放电。通过引入高系数电子诱导二次电子发射（ESEE）和隔直电容器，无法持续的放电表现出多种不同特征：包括电子雪崩的正常失效放电（NFD）、由隔直电容器充电效应引起的偏置失效放电，以及由鞘层形成期间 ESEE 率降低引起的失控失效放电。低压区域的放电表现出一系列放电特征，其中可持续放电已被详细分析。对不可持续放电的研究有助于找到失效放电的原因，进而确定可持续放电的参数，这在防止等离子体破裂、保障设备产品良率和设备安全以帮助防止工业损失方面具有重要价值。
引用
@article{arxiv.2312.05458,
title = {Breakdown modes of capacitively coupled plasma II: unsustainable discharges},
author = {Hao Wu and Ran An and Dong Zhong and Wei Jiang and Ya Zhang},
journal= {arXiv preprint arXiv:2312.05458},
year = {2023}
}
备注
17 pages, 11 figures