含大量微粒的容性耦合射频放电：时空发射图样与微粒排布
等离子体物理
2017-09-27 v1
摘要
通过实验和数值模拟研究了微米尺寸颗粒对低压容性耦合射频放电的影响。在实验室实验中，借助热泳力支撑占据放电体积相当大比例的微粒云以抵抗重力。针对不同微粒排布进行了时空分辨的光学发射测量。数值模拟基于一维混合（流体-动力学）放电模型，以自洽方式描述等离子体与微粒间的相互作用。研究聚焦于微粒排布在解释时空发射测量中的作用。我们表明，在所考虑的一维模型框架下，不可能同时重现观测到的微粒排布与发射图样。这一分歧被讨论并归因于二维效应，例如等离子体组分的径向扩散。
引用
@article{arxiv.1705.06069,
title = {Capacitively-coupled rf discharge with a large amount of microparticles: spatiotemporal emission pattern and microparticle arrangement},
author = {M. Y. Pustylnik and I. L. Semenov and E. Zähringer and H. M. Thomas},
journal= {arXiv preprint arXiv:1705.06069},
year = {2017}
}