具有横向磁场的单频容性耦合放电中的空间对称性破缺

对于许多工业过程（如微电子制造）而言，通常希望对浸入等离子体中的物体所受离子的通量和能量进行独立控制。我们证明，通过在标准单频容性耦合等离子体装置中施加平行于平面电极的合适静磁场，可实现对这两个量的同时控制。我们的粒子模拟（PIC）显示，由于环境磁场改变了离子和电子动力学，鞘层宽度减少了 60%（从而改善了对离子能量的控制），且电极处的离子通量增加了四倍。文中给出了粒子动力学的详细分析，并讨论了该装置的优化运行参数。本技术为传统的双频装置提供了一种简单且具吸引力的替代方案，后者常受限于由频率耦合和电磁效应引起的不良限制。