He 射频容性耦合等离子体的动力学模拟
等离子体物理
2023-09-29 v1
摘要
使用粒子网格（Particle-in-Cell）代码对射频容性耦合等离子体进行理论研究。对于 He 放电，时间平均鞘层在几厘米范围。鞘层电势、离子与电子的能量和角分布、放电电流以及耗散功率依赖于驱动电势与频率。增大高射频的幅值会增加体密度与鞘层电势，从而增加等离子体处理速率。增大中频射频幅值允许更宽的鞘层，具有更宽的离子能量分布与更窄的离子角分布。改变驱动频率间的幅值与相移提供不同能量与角分布，从而执行多种工艺。中频射频 regime 与高频 regime 中鞘层与体动力学之间的相互作用可能激发放电电流中的谐波。
引用
@article{arxiv.2309.16368,
title = {Kinetic Simulation of He radio frequency capacitive coupled plasma},
author = {M. Shihab and A. Elbadawy and M. S. Afify and N. El-Siragy},
journal= {arXiv preprint arXiv:2309.16368},
year = {2023}
}