甲烷中电容耦合射频放电的二维PIC-MCC模拟
等离子体物理
2009-11-10 v1
摘要
采用PIC-MCC方法对甲烷中的二维电容耦合射频放电进行了模拟。在放电频率为13.56 MHz、压力范围50-300 mTorr和电压范围40-180 V的条件下获得了结果。电子能量和电子-甲烷反应速率的空间分布显示了两种放电辉光模式的存在：a) 活性鞘层模式，此时电子在电极鞘层中温度较高，而在放电中部温度较低，因此电子-中性粒子反应在鞘层区域占主导地位；b) 体相主导模式，此时电子能量分布更均匀，反应发生在整个放电体积内。第二种模式通常在低放电电压下观察到，并随着电压升高转变为第一种模式。此外，还完成了甲烷等离子体中化学反应的模拟，以确定放电体积内的气体混合物组成。结果与已知实验数据一致。
引用
@article{arxiv.physics/0406047,
title = {Two-dimensional PIC-MCC simulations of capacitively coupled radio-frequency discharge in methane},
author = {A L Alexandrov and I V Schweigert},
journal= {arXiv preprint arXiv:physics/0406047},
year = {2009}
}
备注
24 pages, 11 figures submitted to Plasma Sourses Science and Technology in May, 2004