低压容性耦合氧放电中的电子加热研究
等离子体物理
2017-11-28 v1
摘要
我们使用一维面向对象粒子网格蒙特卡洛碰撞代码 oopd1，在改变外加电压幅值时，探究单频容性耦合氧放电中的带电粒子密度、电负性、电子能量概率函数（EEPF）以及电子加热机制。我们探究了在 10 mTorr 下运行的放电（此时等离子体主体内的电子加热占主导，即电负性核心）以及在 50 mTorr 下运行的放电（此时鞘层加热占主导）。在 10 mTorr 下，放电运行于漂移-双极（DA）与 模混合模式；在 50 mTorr 下，放电运行于纯 模。在 10 mTorr 时有效电子温度较高，并随驱动电压幅值增大而升高；而在 50 mTorr 时有效电子温度低得多，尤其在电负性核心内约为 0.2 - 0.3 eV，且随电压幅值变化很小。
引用
@article{arxiv.1711.09748,
title = {On electron heating in a low pressure capacitively coupled oxygen discharge},
author = {Jon Tomas Gudmundsson and David I. Snorrason},
journal= {arXiv preprint arXiv:1711.09748},
year = {2017}
}