低压容性耦合电负性氧射频等离子体中的电子功率吸收
等离子体物理
2020-04-22 v1
摘要
透彻理解从电场到电子的能量传递机制，对于不同等离子体源与工艺的优化和控制极为重要。这一称为电子功率吸收的机制，涉及低压电负性容性耦合等离子体(CCPs)中复杂的电子动力学，目前仍未被完全理解。因此，我们基于由 Boltzmann 方程导出的动量平衡方程，对低压氧 CCPs 中的电子功率吸收进行时空分辨分析。数据来自 1d3v 粒子网格法 / Monte Carlo 碰撞模拟。与预测低压下‘随机/无碰撞加热’重要的传统理论模型相反，我们观测到欧姆功率吸收占主导。此外，由于强电负性以及放电中存在电正性边缘区域，导致 RF 周期内电子温度高度时间对称，低压下双极功率吸收被衰减。
引用
@article{arxiv.1911.02435,
title = {Electron power absorption in low pressure capacitively coupled electronegative oxygen radio frequency plasmas},
author = {Máté Vass and Sebastian Wilczek and Trevor Lafleur and Ralf Peter Brinkmann and Zoltán Donkó and Julian Schulze},
journal= {arXiv preprint arXiv:1911.02435},
year = {2020}
}