低压等离子体中负功率沉积的动力学分析
等离子体物理
2017-01-19 v1
摘要
低压等离子体中的负功率吸收通过耦合玻尔兹曼方程与准稳态麦克斯韦方程的解析模型进行研究。利用标准希尔伯特空间方法，首次找到了受非对称激励的有界放电构型中电场与电子分布函数的显式解。该模型应用于低压感应耦合等离子体放电。在此背景下特别讨论了异常趋肤效应和相位混合效应。将解析解与电磁全波粒子模拟结果进行比较，发现解析与数值结果高度一致。
引用
@article{arxiv.1608.02233,
title = {Kinetic analysis of negative power deposition in low pressure plasmas},
author = {Jan Trieschmann and Thomas Mussenbrock},
journal= {arXiv preprint arXiv:1608.02233},
year = {2017}
}