容性射频放电与外部匹配网络的一致性仿真
等离子体物理
2018-11-15 v1
摘要
外部匹配网络对于运行容性耦合等离子体以最大化吸收功率至关重要且必不可少。实验表明，外部电路通常以其非线性方式同等离子体强烈相互作用。为设计合适的网络（例如用于等离子体处理系统），必须考虑这种相互作用。为完全理解该耦合的底层物理，一种同时考虑等离子体及电路动力学的非线性仿真方法可提供有用见解。本工作中，讨论了等效电路等离子体模型与由集总元件组成的外部电路之间的耦合。该等离子体模型本身是自洽的，即等离子体密度与电子温度基于全局等离子体化学模型由吸收功率算出。该方法涵盖真实等离子体系统中存在的所有要素，即放电本身、匹配网络、功率发生器以及杂散损耗元件。尽管本工作的主要结果是概念性方法本身，但以单频容性耦合放电为例演示了其适用性。结果表明，它提供了一种有效且高效的方式来分析和理解真实等离子体系统的非线性动力学，并可进一步用于综合最优匹配网络。
引用
@article{arxiv.1804.05638,
title = {Consistent simulation of capacitive radio-frequency discharges and external matching networks},
author = {Frederik Schmidt and Thomas Mussenbrock and Jan Trieschmann},
journal= {arXiv preprint arXiv:1804.05638},
year = {2018}
}