用蒙特卡罗方法分析低压电正性和电负性射频等离子体
等离子体物理
2007-05-23 v2 计算物理
摘要
使用粒子网格/蒙特卡罗技术在10 MHz频率下模拟低压电负性和电正性等离子体。给出了电位、电场、电子和离子密度以及流过等离子体的电流。为了比较电正性气体与电负性气体的物理特性，输入电压从1000伏降至350伏。模拟结果表明，负离子的引入对电场的时空变化以及电子、离子和位移电流的行为产生了显著影响。特别是，数值模拟预测了电负性放电的等离子体-鞘层边界处双层的形成。
引用
@article{arxiv.physics/9810027,
title = {Analysis of low pressure electro-positive and electro-negative rf plasmas with Monte Carlo method},
author = {M. Ardehali},
journal= {arXiv preprint arXiv:physics/9810027},
year = {2007}
}
备注
Latex file, 14 pages, 19 figures