氧气中的射频放电。第一部分：建模
等离子体物理
2009-11-13 v1
摘要
在本系列三篇论文中，我们展示了结合实验与理论努力以定量描述氧气中电容耦合射频放电的结果。本文将对作为理论基础的回溯粒子蒙特卡洛 (particle-in-cell Monte-Carlo) 模型进行描述。该模型将空间电荷场和输运过程与最重要的等离子体化学反应置于同等地位进行处理。对于给定的外加电压和压强，该模型确定放电内的电势以及电子、带负电的原子氧和带正电的分子氧的分布函数。我们对先前使用的散射和反应截面数据进行了批判性评估，并在某些情况下进行了修正。为了验证我们的模型，我们将放电体部的密度与实验数据进行了比较，发现吻合良好，表明该模型捕捉到了氧气放电的基本方面。
引用
@article{arxiv.0705.0495,
title = {Radio-frequency discharges in Oxygen. Part 1: Modeling},
author = {F. X. Bronold and K. Matyash and D. Tskhakaya and R. Schneider and H. Fehske},
journal= {arXiv preprint arXiv:0705.0495},
year = {2009}
}
评论
11 pages, 10 figures