磁化与非磁化射频放电鞘层后的离子能量分布函数
等离子体物理
2014-03-19 v2 计算物理
摘要
研究了磁场对电容耦合射频放电特性的影响，发现其影响显著。一维粒子模拟（particle-in-cell simulation）表明，通过施加空间非均匀磁场，可使几何对称的放电产生不对称性。该效应类似于近期发现的电不对称效应。两种效应独立作用，既可同向叠加也可相互抵消。此外，电极处的离子能量分布函数也受到磁场的强烈影响，尽管这种影响仅是间接的。磁场并不直接影响鞘层本身的动力学，而是影响其工作条件，即穿过鞘层的离子通量和鞘层两端的电压降。为支持这一解释，我们将粒子模拟结果与近期提出的时空系综算法（ensemble-in-spacetime algorithm）的结果进行了比较。尽管该方案仅解析鞘层而忽略磁化效应，但无论放电是否被磁化，它都能以极高的精度复现离子能量分布函数。
引用
@article{arxiv.1208.2248,
title = {Ion energy distribution functions behind the sheaths of magnetized and non magnetized radio frequency discharges},
author = {Jan Trieschmann and Mohammed Shihab and Daniel Szeremley and Abd Elfattah Elgendy and Sara Gallian and Denis Eremin and Ralf Peter Brinkmann and Thomas Mussenbrock},
journal= {arXiv preprint arXiv:1208.2248},
year = {2014}
}