通过电压波形整形定制电容耦合等离子体中的离子通量-能量分布函数
等离子体物理
2016-02-09 v1
摘要
我们提出一种方法，在电容耦合等离子体中电极表面的离子通量-能量分布函数(IDF)的特定能量处产生单峰。该技术基于驱动电压波形的整形，即调节所施加谐波的相位与振幅，以优化由电荷交换碰撞产生的离子的累积及其随后被鞘层电场的加速。通过调谐所施加RF电压波形的参数，可在广泛范围内控制IDF峰值的位置（即离子能量）和峰值内的离子通量，从而优化在各种特定离子能量下引发表面反应的应用。
引用
@article{arxiv.1602.02624,
title = {Customized ion flux-energy distribution functions in capacitively coupled plasmas by voltage waveform tailoring},
author = {E. Schuengel and Z. Donko and P. Hartmann and A. Derzsi and I. Korolov and J. Schulze},
journal= {arXiv preprint arXiv:1602.02624},
year = {2016}
}