定制电压波形驱动的低气压容性氧射频放电中的离子能量与角分布
等离子体物理
2018-11-14 v1
摘要
我们研究在低气压、电容耦合氧射频放电中到达电极的离子的能量与角分布。针对不同类型的激励——单频与经典双频，以及谷型与锯齿型波形——分析了这些分布，以及离子通量与离子能量独立控制的可能性。研究基于动力学、基于粒子的模拟，其极为详细地揭示了这些放电的物理机制。条件涵盖了离子穿过电极鞘层传输时从弱碰撞到强碰撞的区域。还应用了分析模型来理解能量与角分布函数的特征。
引用
@article{arxiv.1809.06779,
title = {Ion energy and angular distributions in low-pressure capacitive oxygen RF discharges driven by tailored voltage waveforms},
author = {Zoltan Donko and Aranka Derzsi and Mate Vass and Julian Schulze and Edmund Schuengel and Satoshi Hamaguchi},
journal= {arXiv preprint arXiv:1809.06779},
year = {2018}
}