双极脉冲放电的建模表征
等离子体物理
2020-12-02 v1
摘要
我们采用基于粒子的动力学模拟来探究由高压（ kV）、极性交替的脉冲所驱动的低气压气体放电的特性，其占空比约为 1%，重复频率为 5 kHz。该计算可追踪若干放电特性的时空演化、电势与电场分布、带电粒子密度与通量、电极表面的平均离子能量等。由于此类放电具有重要的表面处理应用（例如人造骨处理），我们分析了到达电极表面（可为导电或介电）的离子通量及平均能量随时间的变化关系。我们的研究在 40–140 Pa 气压范围、1–5 cm 电极间隙以及 600 V 至 1200 V 电压脉冲幅值条件下，针对氩缓冲气体展开。
引用
@article{arxiv.2006.02827,
title = {Modeling characterisation of a bipolar pulsed discharge},
author = {Zoltan Donko and Lenka Zajickova and Satoshi Sugimoto and Anjar Anggraini Harumningtyas and Satoshi Hamaguchi},
journal= {arXiv preprint arXiv:2006.02827},
year = {2020}
}