低压等离子体源中由射频电场驱动的电子网球运动
等离子体物理
2020-10-01 v1
摘要
我们详细分析了低压下由射频电压波形激发的电容耦合等离子体鞘层区域内的电子轨迹。在若干物理量中识别出鞘层内的复杂特征，这些特征由在空间和时间上变化的电场影响下反弹电子的轨迹所塑造。我们发展了一种方法，将各种特征的生成解释为表面过程的函数，并识别出来源不同的电子轨迹。
引用
@article{arxiv.2009.14664,
title = {Electron tennis driven by radio-frequency electric fields in low-pressure plasma sources},
author = {Mate Vass and Aranka Derzsi and Julian Schulze and Zoltan Donko},
journal= {arXiv preprint arXiv:2009.14664},
year = {2020}
}