利用高效蒙特卡罗模拟器对电负性等离子体放电离子能量分布轮廓进行建模
等离子体物理
2007-05-23 v2
摘要
离子能量分布函数(IEDF)在电极上对半导体材料等离子体处理中的关键作用，要求任何等离子体模拟器都必须以高精度和低噪声水平预测该量。在这项工作中，开发了一个高效的粒子网格/蒙特卡罗(PIC/MC)模拟器，用于模拟电负性等离子体放电电极处的IEDF。该模拟器使用一种有效的方法，通过分裂粒子并调整其统计权重来增加低粒子密度区域的MC粒子数量。这种统计增强技术不需要处理器间通信，特别适合并行处理。该模拟器用于模拟压力为25 mTorr的电负性射频放电。从该模拟器获得的IEDF具有良好的统计特性和低噪声水平，而通过标准PIC/MC模拟器计算的IEDF则充满随机噪声。
引用
@article{arxiv.physics/9810026,
title = {Modeling of ions energy distribution profile of electronegative plasma discharges with an efficient Monte Carlo simulator},
author = {M. Ardehali},
journal= {arXiv preprint arXiv:physics/9810026},
year = {2007}
}
备注
LaTeX file, 19 pages, 16 figures