带阻抗匹配的 GEC 参考电池的电气特性：一项二维 PIC/MCC 建模研究
等离子体物理
2023-10-10 v1
摘要
本文在轴对称坐标系下，通过二维静电隐式粒子网格/蒙特卡洛碰撞（PIC/MCC）模型，研究了带阻抗匹配的气态电子会议（GEC）参考电池的电气特性。通过由电能密度计算得到的等效电容，将复杂反应器几何结构与外部电路之间的耦合纳入考虑。该模型的结果与实验测量及其他模型计算结果进行了比较，显示出良好的一致性。该模拟获得了低压下电容耦合放电过程的等离子体动力学以及详细的外部电路响应，包括功率传输、反射以及电路中的高次谐波，这为半导体等离子体加工中的阻抗匹配设计提供了重要见解。
引用
@article{arxiv.2310.04957,
title = {Electrical Characteristics of the GEC Reference Cell with Impedance Matching: A Two-Dimensional PIC/MCC Modeling Study},
author = {Zili Chen and Hongyu Wang and Shimin Yu and Yu Wang and Zhipeng Chen and Wei Jiang and Julian Schulze and Ya Zhang},
journal= {arXiv preprint arXiv:2310.04957},
year = {2023}
}