非均匀负电性等离子体中跨磁场的平衡电势分布
等离子体物理
2022-04-12 v1 应用物理
摘要
本文给出了由一对环形电极产生的13.56 MHz CCRF放电所建立的氩/氧等离子体中跨磁力线的等离子体电势分布。研究发现，随着磁场强度和气体压力的增加，径向等离子体密度、电子温度和等离子体电势呈现出异常趋势。在可忽略由导电边界引起的短路效应的情况下，我们建立了一个解析模型来解释径向等离子体电势分布。研究发现，在一定的近似条件下，等离子体电势分布可以很好地与局域等离子体密度、电子温度和体相负电性相关联，类似于玻尔兹曼关系。
引用
@article{arxiv.2108.06134,
title = {Equilibrium potential profile across magnetic field in inhomogeneous electronegative plasma},
author = {Pawandeep Singh and Swati and Shantanu Kumar Karkari},
journal= {arXiv preprint arXiv:2108.06134},
year = {2022}
}
备注
16 pages, 5 figures