微电子器件的焦耳膨胀成像技术
综合物理
2008-01-08 v1
摘要
我们利用扫描焦耳膨胀显微镜（SJEM）研究了两个微电子器件上电诱导的面外表面位移。我们介绍了实验方法和表面位移结果。我们表明，这些结果可以与使用光学干涉测量法获得的表面位移图像进行成功比较。我们还展示了使用扫描热显微镜（SThM）技术获得的热图像，以强调 SJEM 更适用于高频测量，这应能提高空间分辨率。
引用
@article{arxiv.0801.1041,
title = {Joule Expansion Imaging Techniques on Microlectronic Devices},
author = {S. Grauby and L. -D. Patino Lopez and A. Salhi and E. Puyoo and J. -M. Rampnoux and W. Claeys and S. Dilhaire},
journal= {arXiv preprint arXiv:0801.1041},
year = {2008}
}
备注
Submitted on behalf of TIMA Editions (http://irevues.inist.fr/tima-editions)