用于测量MEMS位移场的Nomarski成像干涉测量法
经典物理
2009-11-13 v1 光学
摘要
我们提出使用Nomarski成像干涉仪来测量MEMS的面外位移场。研究表明，测量的光学相位既来源于高度也来源于斜率梯度。使用四个积分桶，提出了一种更有效的相位解包裹方法，从而使该方法非常适合高度弯曲的物体。然后通过将位移场在函数基上展开来解耦斜率和高度效应，并应用逆变换从机械加载时光学相位图变化的测量中获得位移场。实现了约10 pm的测量重复性，并展示了在热驱动下微悬臂梁的典型结果，从而证明了这种装置无需表面改性即可提供可靠的全场运动学测量的能力。
引用
@article{arxiv.physics/0610183,
title = {Nomarski imaging interferometry to measure the displacement field of MEMS},
author = {Fabien Amiot and Jean Paul Roger},
journal= {arXiv preprint arXiv:physics/0610183},
year = {2009}
}