可见光与红外波长下折射率的干涉微尺度测量

利用透射和反射光谱法，测定了经煅烧（空气中$1100^\circ$C）的光刻胶 SZ2080$^\mathrm{TM}$微盘的折射率。当通过扫描电子显微镜（SEM）测量微盘厚度时，选择特定波数/波长处的干涉条纹以确定光学厚度，进而确定折射率。确定了厚度约为$6\pm 1~\mu$m 的微盘在可见光和红外（2.5-13~$\mu$m）光谱范围内的折射率，其在可见光和红外波长下为$2.2\pm 0.2$。鉴于几何参数定义、形状及质量密度重新分布中可能存在的 uncertainty，讨论了微光学结构光学表征的特殊性。