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硅间层对 Ti/Ni 多层结构过渡层形成的影响研究

材料科学 2025-07-08 v1

摘要

本研究对厚度为 4 nm 和 10 nm 的 Ti/Ni 多层结构的化学、结构和磁性进行了全面调查。特别关注 Ni-Ti 界面过渡层的表征及其薄硅阻挡层对形成的影响。采用 X射线光电子能谱 (XPS)、X射线衍射 (XRD)、X射线反射率 (XRR) 和 SQ 磁学仪等手段进行分析。在 Ni-Ti 界面识别出最高可达 1.2 nm 厚度的延伸型过渡层,主要由杂合物相 Ni3Ti 组成。将超薄硅缓冲层置于界面后,可显著抑制杂合物相的形成,可能是由于钛硅化物的形成所致。此外,还发现将 Si 层置于样品表面后,在暴露于大气环境中会形成硅氧化物,作为被动层抑制 Ni 和 Ti 层在多层结构最顶层周期内的氧化。

关键词

引用

@article{arxiv.2505.08569,
  title  = {Influence of Silicon Interlayers on Transition Layer Formation in Ti/Ni Multilayer Structures of Different Thicknesses},
  author = {S. S. Sakhonenkov and A. U. Gaisin and A. S. Konashuk and A. V. Bugaev and R. S. Pleshkov and V. N. Polkovnikov and E. O. Filatova},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2505.08569},
  year   = {2025}
}

备注

23 pages, 8 figures, 4 tables