组分梯度氧化物薄膜中矩阵效应的证据

对 Ba$_{1-x}$Sr$_x$TiO$_3$/La$_{1.1}$Sr$_{0.9}$NiO$_3$/SrTiO$_3$ 异质结构进行了磁力学二离子质谱（SIMS）分析。通过脉冲激光沉积法，将顶层的 Ba$_{1-x}$Sr$_x$TiO$_3$ 的配比参数 $x$ 沿样品宽度连续调制从 0 变至 1。SIMS 分析前，对 Ba$_{1-x}$Sr$_x$TiO$_3$ 的组成梯度进行定量表征，包括波长和能量色散 X 射线光谱。尽管 Ba$_{1-x}$Sr$_x$TiO$_3$ 中 Ti 含量恒定，其离子产率随 Ba 被 Sr 替代而呈递增趋势。这种现象可通过邻近原子化学的变化来解释，该变化影响 Ti 在喷射过程中 ionized 概率。在组成连续变化的同时，氧化物多层样本特点是锋利的界面，故本研究下探讨了其垂直分辨率。界面穿越轮廓的建模显示，仪器对轮廓展宽的贡献仅为约 5 nm。