原子氧等离子体辅助分子束外延生长的 BaTiO3/SrTiO3(001) 薄膜表面组分
材料科学
2015-06-12 v1
摘要
我们研究了利用原子氧辅助分子束外延 (AO-MBE) 及专用的 Ba 和 Ti Knudsen 源，在纯及 1% Nb 掺杂的 SrTiO3(001) 单晶上沉积 BaTiO3 薄膜的生长过程。针对不同层组分，研究了厚度高达 30 nm 的薄膜。我们证实了二维生长及外延单晶 BaTiO3 层可达 10 nm，此后出现额外的三维特征；晶格参数弛豫发生在最初几纳米内，并在约 10 nm 处完成。证据表明，对于结晶良好的层，存在一个富 Ba 氧化物顶层，该层可能有利于二维生长。我们展示了该富 Ba 氧化物顶层可通过化学蚀刻去除。本工作强调了 BaTiO3 层的化学计量比和表面组分的重要性，特别是鉴于其在器件中的集成应用。
引用
@article{arxiv.1211.6994,
title = {Surface composition of BaTiO3/SrTiO3(001) films grown by atomic oxygen plasma assisted molecular beam epitaxy},
author = {A. Barbier and C. Mocuta and D. Stanescu and P. Jegou and N. Jedrecy and H. Magnan},
journal= {arXiv preprint arXiv:1211.6994},
year = {2015}
}
备注
In press in J. Appl. Phys