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原位累积应力测量:在应变平衡量子点和量子柱中的应用

材料科学 2011-02-25 v1

摘要

在本工作中,我们使用原位累积应力监测技术来评估InAs/GaAs量子点和量子柱在应变平衡过程中应力的演化。将这些结果与模拟结果以及常用的其他应变平衡准则进行比较表明,有必要考虑过程的动力学,而不仅仅是沉积材料的标称值。我们发现衬底温度对补偿过程起着主要作用,为了实现最佳补偿条件,必须将其考虑在内。将该技术应用于量子柱,使我们能够制造出具有非凡长度(120 nm)的纳米结构。原位累积测量表明,即使在较短的纳米结构中,弛豫过程也可以被抑制,从而提高了材料质量。

关键词

引用

@article{arxiv.1102.4944,
  title  = {In-situ accumulated stress measurements: application to strain balanced quantum dots and quantum posts},
  author = {D. Alonso-Álvarez. and B. Alén and J. M. Ripalda and A. Rivera and A. G. Taboada and J. M. Llorens and Y. González and L. González and F. Briones},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1102.4944},
  year   = {2011}
}

备注

6 pages, 6 figures. To be submitted to Physical Review B