基于动态标度理论的离子束溅射 Al 薄膜生长动力学

本文报道了离子束溅射铝薄膜的生长动力学研究。利用动态标度理论从 AFM 测量中推导出动力学规律。AFM 成像显示表面具有明显不同的形貌。沉积时间的变化导致了这种差异性。确定了控制生长的静态 ($\alpha$) 和动态 ($\beta$) 标度指数。随着沉积时间从 3 分钟增加到 15 分钟，指数 ($\alpha$) 减小。因此，界面宽度 ($\xi$) 随临界长度 ($L_c$) 减小，同时表面粗糙度增加。表面扩散是在短短 3 分钟的沉积过程中发生的主要表面粗化现象。将沉积时间延长至 15 分钟引入了占主导地位的体扩散过程，最终导致连续薄膜的平滑化。