铂-铝薄膜的去合金化 第一部分：图案形成的动力学

应用聚焦离子束纳米断层成像和卢瑟福背散射谱对去合金化的铂-铝薄膜进行分析，深入研究了去合金化过程中孔隙形成的主导物理机制。合金中较不活泼的铝溶解导致的动态孔隙形成被视为一个反应-扩散系统的结果。卢瑟福背散射谱分析表明，孔隙形成主要由一个线性传播的扩散前沿（即液/固界面）引起，在室温下使用 4M NaOH 水溶液时，其均匀速度为 42(3) nm/s。实验观测到的前沿演化可由普通的扩散型 Fisher-Kolmogorov-Petrovskii-Piskounov 方程描述，并可解释为一种分支随机行走现象。刻蚀前沿产生了渐变的孔隙度，由于合金长时间暴露于碱性溶液，薄膜近表面区域的孔隙度更高。