利用纳米球光刻技术制备石墨烯纳米圆盘阵列
材料科学
2008-12-31 v1
摘要
通过结合纳米球光刻(NSL)和反应离子刻蚀(RIE)工艺，成功制备了有序的石墨烯纳米圆盘阵列。通过改变在RIE过程中充当掩模的聚苯乙烯球尺寸，可以有效调控石墨烯纳米圆盘的尺寸。低电压扫描电子显微镜显示，通过氧RIE可以轻松地将石墨烯片图案化为周期性的圆盘状纳米结构。拉曼图谱和光谱进一步可视化了这种纳米圆盘阵列，并揭示了这些圆盘的本质是结晶单层石墨烯。这项工作展示了一种高效且可控的石墨烯图案化方法。考虑到其周期性、纳米尺寸以及大的边缘与体面积比，石墨烯纳米圆盘阵列这种碳原子的二维组装体在各种电子和自旋电子器件制造中具有内在优势。
引用
@article{arxiv.0812.5014,
title = {Fabrication of graphene nanodisk arrays using nanosphere lithography},
author = {C. X. Cong and T. Yu and Z. H. Ni and L. Liu and Z. X. Shen and W. Huang},
journal= {arXiv preprint arXiv:0812.5014},
year = {2008}
}
备注
15 pages, 4 figures