利用原子力显微镜通过局部阳极氧化光刻制造石墨烯纳米带
介观与纳米尺度物理
2009-06-17 v1
摘要
我们使用轻敲模式原子力显微镜在单层、双层和多层石墨烯中进行了局部阳极氧化（LAO）光刻。绝缘氧化区域的宽度系统地依赖于石墨烯的层数。在单层石墨烯中制造的800纳米宽的条形器件表现出半整数量子霍尔效应。我们还制造了55纳米宽的石墨烯纳米带（GNR）。在低温下，GNR在电荷中性点处的电导受到抑制，这表明由于电荷载流子的横向限制导致了能隙的打开。这些结果表明，LAO光刻是制造石墨烯纳米器件的有效技术。
引用
@article{arxiv.0812.0048,
title = {Fabrication of graphene nanoribbon by local anodic oxidation lithography using atomic force microscope},
author = {S. Masubuchi and M. Ono and K. Yoshida and K. Hirakawa and T. Machida},
journal= {arXiv preprint arXiv:0812.0048},
year = {2009}
}
备注
4 pages, 4 figures