多层薄膜系统 AES 深度剖析中因子分析数据评估的改进实例

因子分析已被证明是一种强大工具，可充分利用 AES 深度剖析所测光谱的峰形和峰位中包含的化学信息。由于其能够提取独立化学组分数目、它们的光谱及其深度分布，其信息内容超过了通常的 AES 深度剖面数据的峰峰值高度评估。使用具有图形交互用户界面的现代软件，分析者能够处于这样一种地位：尽管因子分析基于所有矩阵代数数学，他仍可在物理直观层面上使用它。因子分析给薄膜 AES 深度剖面带来的进展通过分析两个薄膜系统得以展示。第一个是用于铁电薄膜底电极的 Pt/Ti 金属化层，第二个是多层系统，其中诱导了掩埋 Ti/Si 双层膜的 Ti 硅化物形成。两个例子均表明，AES 深度剖面数据的因子分析评估能够获取化学计量信息并揭示界面层相，这些信息很难从常规的峰峰值高度数据评估获得。