加工工艺对氧化钼超薄膜稳定性的影响
材料科学
2017-01-27 v1
摘要
本文系统研究了器件制造标准中常规采用的湿化学加工工艺对氧化钼(MoOx)超薄膜的影响。我们结合了X射线光电子能谱(XPS)、角分辨XPS和X射线反射率技术，深入揭示了经不同初始化学计量比（由反应溅射制备）的薄膜在处理后在成分、结构和电子态上的变化。结果表明，MoOx存在显著的还原效应并伴随能隙态的出现，同时薄膜的成分、密度和结构也发生了变化，这些变化与Mo的初始氧化态存在系统性的关联。
引用
@article{arxiv.1609.07993,
title = {Effects of processing on the stability of molybdenum oxide ultra-thin films},
author = {Aitana Tarazaga Martín-Luengo and Harald Köstenbauer and Jörg Winkler and Alberta Bonanni},
journal= {arXiv preprint arXiv:1609.07993},
year = {2017}
}
备注
16 pages, 5 figures, Appendix included