石墨烯的无损伤溅射方法
材料科学
2012-08-10 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
在石墨烯上沉积各种材料而不引起任何无序对于石墨烯应用而言是非常理想的。特别是，溅射是一种用于自旋电子学中沉积各种金属和绝缘体以及沉积氧化铟锡以制造透明器件的通用技术。然而，由于高能溅射原子的作用，溅射过程会对石墨烯造成损伤。通过翻转衬底并使用高 Ar 气压，我们证明了在直流、射频和反应溅射过程中，石墨烯的损伤程度可以降低甚至消除。
引用
@article{arxiv.1208.1835,
title = {Disorder-free sputtering method on graphene},
author = {Xue Peng Qiu and Young Jun Shin and Jing Niu and Narayanapillai Kulothungasagaran and Gopinadhan Kalon and Caiyu Qiu and Ting Yu and Hyunsoo Yang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1208.1835},
year = {2012}
}