利用同步原位 RHEED 和 X 射线反射率研究复杂氧化物生长：何时完成单层生长？
材料科学
2015-05-19 v1
摘要
在逐层同质外延生长过程中，反射高能电子衍射 (RHEED) 强度和 X 射线反射强度均会发生振荡，每次完整的振荡表明增加了一层材料。然而，众所周知但尚未被充分理解的是，RHEED 振荡的相位并非恒定，因此 RHEED 强度振荡的最大值不一定出现在单层完成时。我们通过在 SrTiO 的逐层生长过程中同步进行原位 X 射线反射率和 RHEED 测量证明了这一点。我们表明，通过改变生长前的衬底退火条件，可以控制 RHEED 振荡的相位，使其改变近 180。此外，在脉冲激光沉积生长过程中，每个激光脉冲之间的指数弛豫时间可用于确定单层何时完成，这与 RHEED 振荡的相位无关。
引用
@article{arxiv.1410.0944,
title = {Complex oxide growth using simultaneous in situ RHEED and x-ray reflectivity: When is one layer complete?},
author = {M. C. Sullivan and M. J. Ward and Araceli Gutierrez-Llorente and Eli R. Adler and H. Joress and A. Woll and J. D. Brock},
journal= {arXiv preprint arXiv:1410.0944},
year = {2015}
}
备注
6 pages, 3 figures