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一种利用分子束外延生长外延复杂氧化物薄膜的高效可靠方法

材料科学 2017-08-02 v1

摘要

过渡金属氧化物异质结构与界面蕴含着各种令人兴奋的量子相,并且可以通过利用原位反射高能电子衍射(RHEED)的强度振荡以原子级精度进行生长。然而,在复杂氧化物薄膜的生长校准中建立稳定的振荡模式非常具有挑战性且耗时。在此,我们开发了一种利用分子束外延对复杂氧化物薄膜进行更高效、更可靠的生长校准方法。

关键词

引用

@article{arxiv.1706.05797,
  title  = {An efficient and reliable growth method for epitaxial complex oxide films by molecular beam epitaxy},
  author = {T. W. Zhang and Z. W. Mao and Z. B. Gu and Y. F. Nie and X. Q. Pan},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1706.05797},
  year   = {2017}
}

备注

4 pages, 3 figures