中文

脉冲激光沉积过程中表面扩散系数与粗化现象的测量

材料科学 2015-05-14 v2

摘要

利用原位X射线镜面反射率和表面漫散射X射线技术,研究了同质外延SrTiO3<001>的脉冲激光沉积(PLD)。与先前基于反射率的研究不同,这些测量同时获取了生长过程中表面形貌演化的时间尺度和长度尺度。特别是,我们展示了该技术能够直接测量层间和层内输运的扩散系数。我们的结果明确限制了岛状破碎可能扮演的角色,证明了成核和粗化在PLD中的关键作用,并给出了下坡扩散的Ehrlich-Schwoebel(ES)势垒的上限。

关键词

引用

@article{arxiv.0910.3601,
  title  = {Measurements of Surface Diffusivity and Coarsening During Pulsed Laser Deposition},
  author = {J. D. Ferguson and G. Arikan and D. S. Dale and A. R. Woll and J. D. Brock},
  journal= {arXiv preprint arXiv:0910.3601},
  year   = {2015}
}