基于脉冲激光沉积的改进连续组成-分布技术及其适用于大基板面积
材料科学
2009-11-10 v1
摘要
介绍了一种基于脉冲激光沉积（PLD）的连续组成-分布（CCS）薄膜制造新方法。该方法基于基板加热器的移动和同步激光放电，沉积通过狭缝形孔径进行。通过重复的亚单层量沉积实现合金化（可在 elevated温度下进行）。我们的方法克服了之前基于溅射或PLD的in-situ CCS实现中的严重缺点，特别是跨越组成分布的厚度变化以及位置函数的不同沉积能量。虽然moving shutter技术适用于PLD方法获得完整分布的薄膜（即与PLD沉积参数变化范围（通常约1 cm）相比较小的基板），但我们的方法可以用于制造足够大的样品，以便采用常规技术对单个组成进行分析，包括浓度依赖的电阻率、介电和磁性测量（即SQUID磁力计）。展示了(Sr,Ca)RuO的分布初始结果。
引用
@article{arxiv.cond-mat/0306452,
title = {An improved continuous compositional-spread technique based on pulsed-laser deposition and applicable to large substrate areas},
author = {H. M. Christen and C. M. Rouleau and I. Ohkubo and H. Y. Zhai and H. N. Lee and S. Sathyamurthy and D. H. Lowndes},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0306452},
year = {2009}
}
备注
6 pages, 8 figures, accepted for publication in Rev. Sci. Instrum