紫外波段具有高量子效率的电荷耦合器件探测器
天体物理仪器与方法
2017-01-12 v1
摘要
我们报告了用于CCD和其他硅基探测器紫外波长的多层高效抗反射涂层（ARC）设计与开发。我们先前展示了一组单层涂层，在130至300 nm四个波段实现>50%量子效率（QE）。我们现在提出多层涂层设计，在195至215 nm间显著优于先前工作。利用多达11层，我们提出几种模型设计使QE达到80%以上。我们还展示了5层和11层ARC在硅和熔融石英基底上的成功性能。最后，我们展示沉积在减薄、delta掺杂CCD上的五层涂层，并演示在202至208 nm间外量子效率大于60%，在206 nm处峰值67.6%。
引用
@article{arxiv.1701.02733,
title = {Charge Coupled Device detectors with high quantum efficiency at UV wavelengths},
author = {Erika T. Hamden and April D. Jewell and Charles A. Shapiro and Samuel R. Cheng and Tim M. Goodsall and John Hennessy and Michael Hoenk and Todd Jones and Sam Gordon and Hwei Ru Ong and David Schiminovich and D. Christopher Martin and Shouleh Nikzad},
journal= {arXiv preprint arXiv:1701.02733},
year = {2017}
}
备注
11 pages, 8 figures. Published by JATIS