利用亚波长结构激光烧蚀的毫米波宽带抗反射涂层

我们报道了首次使用激光烧蚀在氧化铝和蓝宝石上制作基于亚波长结构（SWS）的亚毫米级宽带抗反射涂层（ARC）。我们使用 515 nm 激光产生金字塔形结构，其节距约为 320 $\mu$m，总高度接近 800 $\mu$m。在 70 至 140 GHz 之间的透射测量与采用电磁传播软件的模拟结果一致。模拟表明，具有所制备形状的 SWS ARC 应以 235 GHz 为中心具有 $\Delta \nu / \nu_{center}\ = 0.55$ 的分数带宽响应，其反射低于 3%。通过将激光烧蚀参数适当调整，将该带宽扩展到更低和更高频率（介于数十 GHz 至数 THz 之间）应当是直接的。