使用金字塔形亚波长结构的硅基宽带毫米波减反射涂层

我们使用了两种新颖的方法在硅上制备用于毫米和亚毫米（MSM）波段的亚波长结构（SWS）减反射涂层（ARC）：皮秒激光烧蚀和带斜角锯片的切割。两种技术都制备了金字塔形结构。仅单面加工的切割样品具有350 $\mu$m的间距和972 $\mu$m的高度。两个激光烧蚀样品的间距为180 $\mu$m，高度分别为720 $\mu$m和580 $\mu$m；其中只有一个样品是双面烧蚀的。我们展示了形状和光学性能的测量结果，以及与使用有限元分析和严格耦合波分析预测的光学性能的比较。通过将单面切割样品的测量性能外推到双面情况，我们证明了在中心频率170 GHz上97%带宽内，25%波段平均反射率低于5%。使用双面激光烧蚀样品，我们证明了在中心频率346 GHz上83%带宽内反射率低于5%。