光电子发射显微镜中电压衬度的表征
材料科学
2009-05-04 v1
摘要
描述了一种利用光电子发射显微镜(PEEM)获取电压衬度信息的非破坏性技术。使用由电隔离金属线组成的样品来量化PEEM中的电压衬度。通过将测量的电压衬度与来自两个静电模型的计算电压衬度进行比较，来表征电压衬度行为。发现测量的电压衬度与计算的电压衬度非常吻合，表明PEEM中的电压衬度可用于以非侵入方式探测微电子器件中的局域电压信息。
引用
@article{arxiv.0905.0016,
title = {Characterizing Voltage Contrast in Photoelectron Emission Microscopy},
author = {Vinod K. Sangwan and Vincent W. Ballarotto and Karen Siegrist and Ellen D. Williams},
journal= {arXiv preprint arXiv:0905.0016},
year = {2009}
}
备注
26 pages, 8 figures