射频磁控溅射法在银纳米线网络上包覆金属氧化物的挑战与缓解途径
材料科学
2026-04-13 v1
摘要
随着银纳米线（AgNW）网络技术成熟度的不断提高，研究工作正逐渐转向其在功能器件中的集成。在此背景下，评估薄膜涂层工艺如何影响这些透明导电网络的结构和功能完整性至关重要。射频（RF）磁控溅射是最广泛使用且可工业规模化的沉积技术之一，因此详细了解其对AgNW网络的影响尤为关键。在这项工作中，我们通过实验研究了在特定射频磁控溅射条件下观察到的AgNW网络退化现象。通过改变沉积时间、氧分压、靶材、缓冲层和等离子体功率，我们分析了溅射条件如何影响网络的电学、形态和结构特性。基于这些观察，我们确定了减轻或抑制网络退化的可行策略，从而能够实现更安全、更可靠的涂层方案。这些结果为将AgNW网络集成到多层器件架构中提供了实用指南。
引用
@article{arxiv.2604.09372,
title = {Challenges and mitigation pathways in coating silver nanowire networks with metallic oxides by RF magnetron sputtering},
author = {Amaury Baret and Ambreen Khan and Sude Akin and Lionel Teulé-Gay and Daniel Bellet and Aline Rougier and Ngoc Duy Nguyen},
journal= {arXiv preprint arXiv:2604.09372},
year = {2026}
}
备注
11 pages, 4 figures, 1 supplementary figure. Submitted to Langmuir