敏感材料介观器件的非侵入式干法转移制备方法
介观与纳米尺度物理
2025-08-28 v1
摘要
许多具有新颖或奇异特性的材料对环境因素（如空气、溶剂和热）高度敏感，这给器件制备带来困难并限制了其潜在应用。本文提出了一种通用的亚微米介观器件干法转移制备方法，专门针对敏感材料设计。该方法利用PMMA掩模，结合水溶性涂层作为牺牲层，确保敏感材料在加工过程中不暴露于有害环境条件。整个制备过程在手套箱中完成，采用干法技术，避免空气、溶剂和热的暴露，最终进行封装步骤。我们通过制备和表征K2Cr3As3和WTe2器件（一维和二维材料）来验证该方法的有效性。结果表明，该技术保持了材料的完整性，提供了优异的界面接触，并广泛适用于多种敏感材料。
引用
@article{arxiv.2508.19550,
title = {A non-invasive dry-transfer method for fabricating mesoscopic devices on sensitive materials},
author = {Zhongmou Jia and Yiwen Ma and Zhongchen Xu and Xue Yang and Jianfei Xiao and Jiezhong He and Yunteng Shi and Zhiyuan Zhang and Duolin Wang and Sicheng Zhou and Bingbing Tong and Peiling Li and Ziwei Dou and Xiaohui Song and Guangtong Liu and Jie Shen and Zhaozheng Lyu and Youguo Shi and Jiangping Hu and Li Lu and Fanming Qu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2508.19550},
year = {2025}
}