通过卷轴-卷轴机械剥离制备二维材料的大面积薄膜
材料科学
2025-11-11 v1
摘要
本研究展示了一种改进版的卷轴-卷轴机械剥离方法，融入受控滑动运动以实现二维材料在大面积晶圆级的均匀纳米片薄膜制备。该可扩展技术使制造适用于电子和光电器件的高质量薄膜成为可能。我们通过在剥离薄膜上直接制作WSe2光电晶体管来验证该工艺，器件性能指标与基于电化学剥离材料制造的最佳报道性能相当。所采用的方法为全干转移工艺，确保了最小的污染并保留了材料的本征特性。这一工作凸显了高通量机械剥离作为大规模生产二维材料基器件的具有成本效益和可靠性的途径。
引用
@article{arxiv.2511.06960,
title = {Wafer-Scale Films of Two-Dimensional Materials via Roll-to-Roll Mechanical Exfoliation},
author = {Yigit Sozen and Thomas Pucher and Bhagyanath Paliyottil Kesavan and Nuria Jimenez-Arevalo and Julia Hernandez-Ruiz and Zdenek Sofer and Carmen Munuera and Juan J. Riquelme and Andres Castellanos-Gomez},
journal= {arXiv preprint arXiv:2511.06960},
year = {2025}
}