一种用于金刚石薄膜纳米加工的通用方法：以柔性金刚石超表面为例
光学
2024-12-19 v1
摘要
金刚石因其在电子、光子和量子领域的大量卓越性能而在广泛的应用中表现出色。然而，由于难以获得可扩展、可转移和超薄的金刚石样品，金刚石用于片上功能（如二维材料）的异质集成仍然具有挑战性。最近，边缘暴露剥离已被证明是生产晶圆级、自支撑和超薄金刚石薄膜的有效方法。然而，新开发的金刚石薄膜与传统纳米加工方法的不兼容性使得将金刚石薄膜制造成实用器件变得困难。在此，我们展示了利用糖进行掩模转移作为一种在金刚石薄膜上进行图案定义的通用方法，与传统方法相比，该方法显示出优异的几何分辨率和精度。此外，基于该方法，实现了作为结构色的柔性全金刚石超表面，这表明了其在制造更多金刚石相关器件方面的巨大潜力。
引用
@article{arxiv.2412.13406,
title = {A versatile method for nano-fabrication on diamond film: flexible diamond metasurfaces as a demonstration},
author = {Yicheng Wang and Jixiang Jing and Yumeng Luo and Linjie Ma and Zhongqiang Wang and Qi Wang and Kwai Hei Li and Zhiqin Chu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2412.13406},
year = {2024}
}