用于开发三维微纳器件的纳米晶金刚石-玻璃平台
应用物理
2020-02-20 v4 介观与纳米尺度物理
材料科学
摘要
低成本且稳健的平台是开发下一代三维微纳器件的关键。为制造此类平台，纳米晶金刚石（NCD）因其生物相容性、稳健性以及机械、电学、电化学和光学特性而是一种极具吸引力的材料，而带通孔的玻璃基板由于玻璃的优异特性是三维集成的理想中介层。然而，由于缺乏有效的工艺策略，由 NCD 薄膜和玻璃通孔（TGVs）构成的器件鲜有尝试。本工作提出了一种无需光刻和转印的低成本工艺，用于制造一侧由超薄 NCD 薄膜悬空部分密封的 TGV 阵列。这些高透明结构可作为单细胞培养与分析用微孔、微电极等三维集成器件以及量子技术的开发平台。该工艺通过制造由厚度 175 nm、直径 60 m 的 NCD 薄膜密封的 TGV 得以演示。所述技术可通过用氮化硅或碳化硅替代 NCD 加以扩展，从而在微小尺度上开发复杂的异质结构。
引用
@article{arxiv.1907.05260,
title = {Nanocrystalline diamond-glass platform for the development of three-dimensional micro- and nanodevices},
author = {Stoffel D. Janssens and David Vázquez-Cortés and Alessandro Giussani and James A. Kwiecinski and Eliot Fried},
journal= {arXiv preprint arXiv:1907.05260},
year = {2020}
}