范德华材料在纳米光子结构上的高精度的局部转移
应用物理
2020-03-10 v2 材料科学
光学
摘要
在密集纳米光子器件上制备范德华材料原型需要高精度的单层辨别以避免体材料污染。我们利用标准干法转移过程中所用聚碳酸酯的玻璃化转变温度，绘制原位点以实现二维材料的精确拾取。我们将过渡金属硫族化合物单层转移到大面积氮化硅螺旋波导和氮化硅环形谐振器上，以展示改进干法转移方法的高精度无污染特性。我们改进的局部转移技术，是在高通量、与纳米加工兼容的平台上确定性集成高质量范德华材料至纳米腔以探索少光子非线性光学所必需的步骤。
引用
@article{arxiv.1908.01857,
title = {High-precision local transfer of van der Waals materials on nanophotonic structures},
author = {David Rosser and Taylor Fryett and Abhi Saxena and Albert Ryou and Arka Majumdar},
journal= {arXiv preprint arXiv:1908.01857},
year = {2020}
}
备注
9 pages, 5 figures