基于PMMA和热释放胶带的干转移用于2D-TMDC异构集成

Amir Ghiami; Hleb Fiadziushkin; Tianyishan Sun; Songyao Tang; Yibing Wang; Eva Mayer; Jochen M. Schneider; Agata Piacentini; Max C. Lemme; Michael Heuken; Holger Kalisch; Andrei Vescan

doi:10.1021/acsaelm.4c02168

基于PMMA和热释放胶带的干转移用于2D-TMDC异构集成

应用物理 2025-03-14 v1 材料科学

作者: Amir Ghiami , Hleb Fiadziushkin , Tianyishan Sun , Songyao Tang , Yibing Wang , Eva Mayer , Jochen M. Schneider , Agata Piacentini , Max C. Lemme , Michael Heuken , Holger Kalisch , Andrei Vescan

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摘要

将2D-TMDC(二维过渡金属硫化物)从生长基底可靠、可扩展且产率高的转移到目标基底是器件集成的关键步骤。本文引入了一种用于MOCVD生长的2D-TMDC的可扩展干转移方法。采用PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)和TRT(热释放胶带)作为牺牲层和载体，实现对Si/硅氧化物(Si/SiO $_2$ )基底的转移。我们的方法确保可重复的脱离生长基底，以及在溶剂中更好地保留2D-TMDC，而不会影响其与目标基底的粘附。通过X射线光电子能谱和拉曼光谱分别证实了干转移层在干净性和结构完整性方面优于基于氢氧化钾(KOH)溶液的湿法转移。此外，制作的场效应晶体管(FETs)显示出亚临界斜率、最大漏极电流和器件间变异性的改善。本文开发的干转移方法使2D-TMDC层能够以高可重复性实现大面积集成，同时更好地保留层的生长特性。

关键词

2D-TMDC 干转移 PMMA 热释放胶带异构集成 MOCVD

引用

@article{arxiv.2412.02407,
  title  = {Dry Transfer Based on PMMA and Thermal Release Tape for Heterogeneous Integration of 2D-TMDC Layers},
  author = {Amir Ghiami and Hleb Fiadziushkin and Tianyishan Sun and Songyao Tang and Yibing Wang and Eva Mayer and Jochen M. Schneider and Agata Piacentini and Max C. Lemme and Michael Heuken and Holger Kalisch and Andrei Vescan},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2412.02407},
  year   = {2025}
}

备注

29 pages

基于PMMA和热释放胶带的干转移用于2D-TMDC异构集成

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关键词

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